| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 上海创业投资有限公司 | 93483533股 | 15.0463% | 2024-06-30 |
| 2 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 80996822股 | 13.0366% | 2024-06-30 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 | 32939937股 | 5.3017% | 2024-06-30 |
| 4 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 29591336股 | 4.7628% | 2024-06-30 |
| 5 | 华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.9337% | 2024-06-30 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 16117546股 | 2.5941% | 2024-06-30 |
| 7 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9721241股 | 1.5646% | 2024-06-30 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 7867231股 | 1.2662% | 2024-06-30 |
| 9 | 招商银行股份有限公司-银河创新成长混合型证券投资基金 | 7000000股 | 1.1267% | 2024-06-30 |
| 10 | 中国工商银行-上证50交易型开放式指数证券投资基金 | 6970011股 | 1.1218% | 2024-06-30 |
| 11 | 上海创业投资有限公司 | 93483533股 | 15.096% | 2024-03-31 |
| 12 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 80996822股 | 13.079% | 2024-03-31 |
| 13 | 香港中央结算有限公司 | 34976263股 | 5.648% | 2024-03-31 |
| 14 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 27628166股 | 4.461% | 2024-03-31 |
| 15 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.947% | 2024-03-31 |
| 16 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 15573617股 | 2.515% | 2024-03-31 |
| 17 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 10182780股 | 1.644% | 2024-03-31 |
| 18 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 7867231股 | 1.27% | 2024-03-31 |
| 19 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 7390000股 | 1.193% | 2024-03-31 |
| 20 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 6996659股 | 1.13% | 2024-03-31 |
| 21 | 上海创业投资有限公司 | 93483533股 | 15.096% | 2024-02-01 |
| 22 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 80996822股 | 13.079% | 2024-02-01 |
| 23 | 香港中央结算有限公司 | 30570987股 | 4.937% | 2024-02-01 |
| 24 | 招商银行股份有限公司-华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 29208542股 | 4.717% | 2024-02-01 |
| 25 | 华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.947% | 2024-02-01 |
| 26 | 中国工商银行股份有限公司-易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 12905328股 | 2.084% | 2024-02-01 |
| 27 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 11095663股 | 1.792% | 2024-02-01 |
| 28 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 7867231股 | 1.27% | 2024-02-01 |
| 29 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 7487936股 | 1.209% | 2024-02-01 |
| 30 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7137501股 | 1.153% | 2024-02-01 |
| 31 | 上海创业投资有限公司 | 93483533股 | 15.096% | 2023-12-31 |
| 32 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 80996822股 | 13.079% | 2023-12-31 |
| 33 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 28480521股 | 4.599% | 2023-12-31 |
| 34 | 香港中央结算有限公司 | 27846698股 | 4.497% | 2023-12-31 |
| 35 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.947% | 2023-12-31 |
| 36 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 12171671股 | 1.965% | 2023-12-31 |
| 37 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 10731116股 | 1.733% | 2023-12-31 |
| 38 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 7867231股 | 1.27% | 2023-12-31 |
| 39 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 7580039股 | 1.224% | 2023-12-31 |
| 40 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7341744股 | 1.186% | 2023-12-31 |
| 41 | 上海创业投资有限公司 | 89083533股 | 14.41% | 2023-09-30 |
| 42 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 81305921股 | 13.152% | 2023-09-30 |
| 43 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 28641267股 | 4.633% | 2023-09-30 |
| 44 | 香港中央结算有限公司 | 25638559股 | 4.147% | 2023-09-30 |
| 45 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.953% | 2023-09-30 |
| 46 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 14027303股 | 2.269% | 2023-09-30 |
| 47 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 11720765股 | 1.896% | 2023-09-30 |
| 48 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 8760211股 | 1.417% | 2023-09-30 |
| 49 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 8116897股 | 1.313% | 2023-09-30 |
| 50 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 7800000股 | 1.262% | 2023-09-30 |
| 51 | 上海创业投资有限公司 | 89083533股 | 14.41% | 2023-06-30 |
| 52 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 87155902股 | 14.098% | 2023-06-30 |
| 53 | 香港中央结算有限公司 | 29679732股 | 4.801% | 2023-06-30 |
| 54 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 27017742股 | 4.37% | 2023-06-30 |
| 55 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.953% | 2023-06-30 |
| 56 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 10431595股 | 1.687% | 2023-06-30 |
| 57 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9847200股 | 1.593% | 2023-06-30 |
| 58 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 9582035股 | 1.55% | 2023-06-30 |
| 59 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 9526471股 | 1.541% | 2023-06-30 |
| 60 | AdvancedMicro－FabricationEquipmentInc.Asia | 8721494股 | 1.411% | 2023-06-30 |
| 61 | 上海创业投资有限公司 | 96383533股 | 15.64% | 2023-03-31 |
| 62 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 93337887股 | 15.146% | 2023-03-31 |
| 63 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.966% | 2023-03-31 |
| 64 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 22552090股 | 3.66% | 2023-03-31 |
| 65 | 香港中央结算有限公司 | 21576814股 | 3.501% | 2023-03-31 |
| 66 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 15151284股 | 2.459% | 2023-03-31 |
| 67 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 15000226股 | 2.434% | 2023-03-31 |
| 68 | AdvancedMicro－FabricationEquipmentInc.Asia | 13111302股 | 2.128% | 2023-03-31 |
| 69 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9391663股 | 1.524% | 2023-03-31 |
| 70 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 8593246股 | 1.394% | 2023-03-31 |
| 71 | 上海创业投资有限公司 | 96383533股 | 15.64% | 2022-12-31 |
| 72 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 93337887股 | 15.146% | 2022-12-31 |
| 73 | 香港中央结算有限公司 | 25897853股 | 4.203% | 2022-12-31 |
| 74 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.966% | 2022-12-31 |
| 75 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 21633682股 | 3.511% | 2022-12-31 |
| 76 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 21467641股 | 3.484% | 2022-12-31 |
| 77 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 17474415股 | 2.836% | 2022-12-31 |
| 78 | AdvancedMicro－FabricationEquipmentInc.Asia | 16816171股 | 2.729% | 2022-12-31 |
| 79 | 国开创新资本投资有限责任公司 | 8799459股 | 1.428% | 2022-12-31 |
| 80 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 7397507股 | 1.2% | 2022-12-31 |
| 81 | 上海创业投资有限公司 | 96383533股 | 15.64% | 2022-09-30 |
| 82 | 巽鑫(上海)投资有限公司 | 93337887股 | 15.146% | 2022-09-30 |
| 83 | 香港中央结算有限公司 | 42525278股 | 6.901% | 2022-09-30 |
| 84 | 嘉兴智微企业管理合伙企业(有限合伙) | 26084590股 | 4.233% | 2022-09-30 |
| 85 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 3.966% | 2022-09-30 |
| 86 | AdvancedMicro－FabricationEquipmentInc.Asia | 19802744股 | 3.213% | 2022-09-30 |
| 87 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 17474415股 | 2.836% | 2022-09-30 |
| 88 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 11189095股 | 1.816% | 2022-09-30 |
| 89 | 国开创新资本投资有限责任公司 | 8799459股 | 1.428% | 2022-09-30 |
| 90 | GRENADEPTE.LTD. | 8006507股 | 1.299% | 2022-09-30 |
| 91 | 香港中央结算有限公司 | 34014000股 | 10.343% | 2022-06-30 |
| 92 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 24440316股 | 7.432% | 2022-06-30 |
| 93 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 17891218股 | 5.44% | 2022-06-30 |
| 94 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 10806368股 | 3.286% | 2022-06-30 |
| 95 | 国开创新资本投资有限责任公司 | 8799459股 | 2.676% | 2022-06-30 |
| 96 | GICPRIVATELIMITED | 7056103股 | 2.146% | 2022-06-30 |
| 97 | 嘉兴悦橙投资合伙企业(有限合伙) | 5718350股 | 1.739% | 2022-06-30 |
| 98 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 5419706股 | 1.648% | 2022-06-30 |
| 99 | 交通银行股份有限公司－万家行业优选混合型证券投资基金(LOF) | 5000000股 | 1.52% | 2022-06-30 |
| 100 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 4459668股 | 1.356% | 2022-06-30 |
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